(1)臭氧对细菌灭活的机理:臭氧对细菌的灭活反应总是进行的很迅速.与其它杀菌剂不同的是:臭氧能与细菌细胞壁脂类双键反应,穿入菌体内部,作用于蛋白和脂多糖,改变细胞的通透性,从而导致细菌死亡.臭氧还作用于细胞内的核物质,如核酸中的嘌呤和嘧啶破坏DNA.
(2)臭氧对病毒的灭活机理:臭氧对病毒的作用首先是病毒的衣体壳蛋白的四条多肽链,并使RNA受到损伤,特别是形成它的蛋白质.噬菌体被臭氧氧化后,电镜观察可见其表皮被破碎成许多碎片,从中释放出许多核糖核酸,干扰其吸附到寄存体上.臭氧杀菌的彻底性是不容怀疑的.