A.水蒸气通入足量Na2O2粉末,反应前固体为Na2O2,反应后固体为氢氧化钠,反应后的固体中增加了H元素,故A错误;
B.镁粉投入到FeCl3溶液中,如果镁足量,根据关系式3Mg~2Fe,固体质量变化为:72→112,反应后固体质量增加,故B错误;
C.Al与Fe2O3反应生成Al2O3和Fe,反应前固体为Fe2O3、Al,反应后固体为氧化铝、Fe,均为固体,固体质量不变,故C错误;
D.碳粉与SiO2混合物在试管中加热,反应物都是固体,反应后生成了CO气体,则固体质量一定减少,故D正确;
故选D.