关于CD值
随着半导体制造工艺的不断进步,CD在不断的缩小,从0.25um,0.18um,0.13um到90nm,65nm,45nm,32nm等.但是CD的尺寸不是任意值都可以的,经过计算只有特定的几个值才可以,如上列出部分.我想知道是怎么计算的,有影响的因素有哪些?