如图(1),在Rt△ABC中,∠C=90°,BC=3,AC=6,D,E分别是AC,AB上的点,且DE∥BC,DE=2.将△ADE沿DE折起到△A′DE的位置,使A′C⊥CD,如图(2).
(Ⅰ)求证:DE∥平面A′BC;
(Ⅱ)求证:A′C⊥BE;
(Ⅲ)线段A′D上是否存在点F,使平面CFE⊥平面A′DE.若存在,求出DF的长;若不存在,请说明理由.