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FIB和SEM的优劣分析从成像原理,成像...>
FIB和SEM的优劣分析从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.
1人问答
问题描述：

FIB和SEM的优劣分析

从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.

黄全荣回答：
网友采纳
　　FIB带有SEM功能；FIB另外的功能就是微加工. 　　SEM是电子束成像原理. 　　FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像（一般不用,对样品表面形貌损伤太大）. 　　如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.
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