FIB和SEM的优劣分析从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.
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问题描述：
FIB和SEM的优劣分析
从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.
黄全荣回答：
FIB带有SEM功能；FIB另外的功能就是微加工.
SEM是电子束成像原理.
FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像（一般不用,对样品表面形貌损伤太大）.
如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.
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