芯片是计算机的心脏,制造计算机的芯片需要大量的高纯硅,生产高纯硅的主要原料是石英砂(主要成分为SiO2).二氧化硅既不溶于水,也不溶于一般的酸溶液,工业上生产高纯硅的主要流程如图所示.
请回答下列问题:
(1)写出上述流程中由石英砂制取高纯硅的有关化学方程式:①___;②___;③___
(2)在整个制备过程中必须达到无水无氧,若在H2还原SiHCl2过程中混入O2,可能引起的后果是___.为了达到乐色化学和节约资源的目的,物质A需要循环使用,若“物质A”用水吸收,可得副产品(一种常见的酸)的名称是___
(3)作为制造计算机芯片所用高纯硅原料的石英石(沙子).纯度要求高,需要对普通沙子(含有少量的CaCO3、Fe2O3)进行提纯,其中用酸洗(用盐酸)和高纯水洗是两个最重要的步骤,请写出用酸洗步骤中的两个反应的化学方程式分别是___、___.