光纤通讯是光导纤维传送信号的一种通讯手段,合成光导纤维及氮化硅(一种无机涂层)的工艺流程如图:
回答下列问题:
(1)反应I的化学方程式为___,氧化剂为___(填化学式).
(2)经反应II所得的四氯化硅粗品中所含的物质如表:
(3)反应III和IV中尾气的用途为___;反应IV的化学方程式为___.